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逆变型的超声电源常用可控硅逆变电路，利用电脉冲触发可控硅元件导通，再利用换向电容使流过可控硅的电流反向来关断，以超声频率使可控硅交替地导通和关断，使直流电逆变为超声电能。由于可控硅元件的开关速度受限制，这类电源工作频率一般低于20kHz。
超声换能器有两种类型，一类是磁致伸缩型；另一类为电致伸缩型，又称压电式换能器。磁致伸缩型换能器是利用某些铁磁体（如纯镍、镍钴合金及铁氧体)材料的磁致伸缩效应制成的。当高频电流通过线圈时，铁磁性铁芯中的磁场强度发生周期性变化，铁芯长度作周期性伸缩变化，而激发出超声波。由于使用镍和镍钴合金作铁芯的造价贵，而且制成的换能器的电声率较低，日前很少采用。
超声频电功率源是一将工业用电转换成超声频电功率的输入装置，又称超声电源。早期的超声电源都用电子管器件，体积大效率低，目前已被晶体管替代。利用晶体管可制成效率高、功率大、体积小的超声电源。超声电源可分为振荡放大型和逆变型两种类型。振荡放大型由振荡器、放大器和匹配电路组成。振荡器产生一定频率的信号以便推动放大器。
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